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FOXIN-IP 磁控离子溅射镀膜机型号（高度1.3m以下）
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性能型号
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IP-0710
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IP-1012
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IP-1212
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IP-1412
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IP-1612
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IP-1813
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真空室尺寸：mm
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Ф700×H1000
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Ф1000×H1200
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Ф1200×H1200
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Ф1400×H1200
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Ф1600×H1200
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Ф1800×H1300
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真空室结构
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立式前开门结构配置抽气系统及水冷系统
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真空获得系统
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维持泵+机械泵+罗茨泵+扩散泵或分子泵（具体型号可根据客户的要求进行配置）
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真空测量系统
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一台皮拉尼(MKS) 一台冷阴极(MKS) 一台薄膜规(MKS)
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电源类型
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直流电源、中频电源、脉冲电源 （偏压电源、弧电源）
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极限真空指标
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空载冷态 1.0一 6.0×10-4Pa
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电弧源
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4台-6台
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6台-8台
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8台-10台
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10台-12台
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14台-16台
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16台-18台
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200A-300A
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200A-300A
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200A-300A
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200A-300A
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200A-300A
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200A-300A
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偏压电源
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20KW/1台
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20KW/1台
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20KW/1台
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30KW/1台
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40KW/1台
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60KW/1台
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磁控电源
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1台-2台
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1台-2台
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2台-3台
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2台-3台
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3台-4台
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3台-4台
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工件转动方式
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多轴行星式公自转、变频调速（可控可调）
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工件烘烤温度
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常温-300℃至450℃-600℃可控可调（PID温控）
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工艺气体
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3路或4路工艺气体流量控制及显示系统选配自动加气系统
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氩气、氮气、氧气、乙炔等
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冷却方式
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水冷却循环方式，另配工业冷却水塔或工业冷水机（制冷机)或深冷系统。（客户提供）
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控制方式
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PLC+触摸屏操作或计算机控制，手动、半自动、自动方式、
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供给指标
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气压0.5-0.8MPa、水温≤25℃、水压≥0.2MPa、
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报警及保护
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对泵和靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警，并执行相应保护措施及电气联锁功能。
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整机总功率
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25~65KW
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45~85KW
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65~105KW
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85~115KW
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95~125KW
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100~130KW
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输出频率
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电压380V±5% ，频率50Hz（可根据客户国家用电标准配置）
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设备占地面积
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15~50m²
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15~50m²
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25~55m²
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25~55m²
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35~55m²
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35~55m²
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备注
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可根据用户要求设计制造非标设备，可加装磁控溅射靶、中频孪生对靶等。
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服务项目
