- 详细介绍:
|
FOXIN-PVD 多弧离子溅射镀膜机型号（直径1.2mm以内）
|
|
性能型号
|
PVD-0708
|
PVD-0809
|
PVD-0910
|
PVD-1012
|
PVD-1212
|
PVD-1215
|
|
真空室尺寸:mm
|
Ф700×H800
|
Ф800×H900
|
Ф900×H1000
|
Ф1000×H1200
|
Ф1200×H1200
|
Ф1200×H1500
|
|
真空室结构
|
立式前开门结构配置抽气系统及水冷系统
|
|
真空获得系统
|
维持泵+机械泵+罗茨泵+扩散泵或分子泵（具体型号可根据客户的要求进行配置）
|
|
真空测量系统
|
一台皮拉尼(MKS) 一台冷阴极(MKS) 一台薄膜规(MKS)
|
|
电源类型
|
直流电源、中频电源、脉冲电源 （偏压电源、弧电源）
|
|
极限真空指标
|
空载冷态 1.0一 6.0×10-4Pa
|
|
电弧源
|
6台-8台
|
6台-8台
|
8台-12台
|
8台-12台
|
10台-14台
|
10台-14台
|
|
200A-300A
|
200A-300A
|
200A-300A
|
200A-300A
|
200A-300A
|
200A-300A
|
|
偏压电源
|
20KW/1台
|
20KW/1台
|
20KW/1台
|
30KW/1台
|
30KW/1台
|
30KW/1台
|
|
磁控电源
|
1台-2台
|
1台-2台
|
2台-3台
|
2台-3台
|
2台-3台
|
2台-3台
|
|
工件转动方式
|
多轴行星式公自转、变频调速（可控可调）
|
|
工件烘烤温度
|
常温-300℃至450℃-600℃可控可调（PID温控）
|
|
工艺气体
|
3路或4路工艺气体流量控制及显示系统选配自动加气系统
|
|
氩气、氮气、氧气、乙炔等
|
|
冷却方式
|
水冷却循环方式，另配工业冷却水塔或工业冷水机（制冷机)或深冷系统。（客户提供）
|
|
控制方式
|
PLC+触摸屏操作或计算机控制，手动、半自动、自动方式、
|
|
供给指标
|
气压0.5-0.8MPa、水温≤25℃、水压≥0.2MPa、
|
|
报警及保护
|
对泵和靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警，并执行相应保护措施及电气联锁功能。
|
|
整机总功率
|
25~65KW
|
45~85KW
|
65~105KW
|
85~115KW
|
95~125KW
|
100~130KW
|
|
输出频率
|
电压380V±5% ，频率50Hz（可根据客户国家用电标准配置）
|
|
设备占地面积
|
15~50m²
|
15~50m²
|
25~55m²
|
25~55m²
|
35~55m²
|
35~55m²
|
|
备注
|
可根据用户要求设计制造非标设备，可加装磁控溅射靶、中频孪生对靶等。
|
- 应用范围:
佛欣真空专注真空镀膜设备制造14年!（SINCE 2000)
术业专攻：多弧离子镀膜机；磁控溅射镀膜设备；多弧离子溅射镀膜机
质量监测：佛欣真空实行严格的内审和真空行业标准，产品和公司全面通过欧盟CE和ISO9001：2008国际质量管理体系认证!
愿景使命：把***出色的，***人性化的，***适合的真空镀膜设备和售后服务顺利交付给千千万万的客户,并为客户创造价值。
销售直线:0757-86136159 销售经理: 13929976358 售后服务: 0757-86136172
企业邮件: info@foxinzk.com 企业官网:www.foxinzk.com
服务项目
