1100度RTP快速热退火炉 真空管式炉(RTP1100)

1

项 目

主要技术指标

数据

2

规格型号

RTP1100

3

温度控制

***高温度点

1200℃

4

额定温度

1100℃

5

稳定状态温度范围

100～1000℃

6

温度测量精度

±0.2℃

7

温度控制重复性

±1℃

8

温度控制精确度

±1℃

9

温场均匀性

±2℃

10

温度状态工艺时间（S）

2～100（100～1000℃）

11

***快升温速率

500℃/S

12

降温速率（℃/S）

1～200（通氮气，速率更快）

13

温度控制模式

智能模糊全闭环控制

14

软件功能

操控系统

NBD-101智能系统

15

用户界面

中英文互换

16

工艺菜单编辑

触屏式图像操作界面

17

扩充端口

可扩充真空测控和FFC供气

18

看门***

系统进入死循环时关闭主控制器

19

热电偶校准状态检测

软件校准，方便准确，软件分析传感器状态是否正常

20

超高温状态检测

软件检测出温度信息出现高温异常时，切断主回路

21

触摸屏尺寸

7"LCD

22

物理指标

***大功率

15kw

23

额定电压

AC380～400V，50Hz（60Hz定制）

24

传感器类型

S型单铂铑

25

反应腔室内径尺寸

Φ100X200mm

26

式样有效空间

3.5"

27

真空度

4.3×10-3Pa(外配分子泵）

28

抽气端口尺寸

KF16（或Φ8mm宝塔嘴）

29

供气口尺寸

Φ6.35mm双卡套

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冷却方式

自然冷却或强迫风冷N2或压缩空气：2psi (0.14kg/cm2) – 7psi(0.5kg/cm2) 

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外形净尺寸（mm）

长920×深500×高560

32

重量

净重65kg