加热燃烧喷淋水洗式 PECVD尾气处理设备（SCRUBBER）半导体尾气处理设备
尺寸：800长×805宽×1900高
类型：加热水洗式
处理能力：400升/分钟
排污方式：自然排+泵强排
喷淋室：加压喷射
水处理方式：泵循环+自来水
冷却方式：动力冷却循环水
电源：220V、40A
该设备主要应用于半导体行业、TFT-LCD行业以及太阳能光伏行业中的蚀刻与CVD制程。主要处理气体包括刻蚀与化学气相沉积制程中常见的有毒腐蚀气体，包括SiH4、SiH2CL2 、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。在业界有应用广泛，无粉尘积聚问题 维护简便 采用防腐蚀材料与技术 采用循环系统减少水量消耗，运行与维护方便且成本低。 根据废气的不同性质，尾气处理方式: □湿法处理(Wet Scrubber):水喷淋吸收溶解,如NH3、CL2、HCL、BCL3、HBr等处理 □热湿处理(Thermal & Wet Scrubber):燃烧或电加热及湿法喷淋处理，能够完全彻底处理废气，如SiH4、Geh4、TEOS、DCS、PH3 、CF4、H2、WF6等处理 北京邦联成科技有限公司 T:010-51291655 F:010-51291658
服务项目
