LINE TECH气体质量流量流量计和流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。
韩国原装进口高精度气体质量流量计/气体质量流量控制器，使用特别的热传感器和控制电路提高计算精度。广泛应用于半导体工业和其他行业，产品设计坚固、耐用，且经济。价格3999元起，欢迎来电来函询洽。
产品优势：
l 测量质量流量
l 不需要温度、压力补偿
l 紧凑的流量控制系统
l 高精度（±1%F.S）
l 耐高压（90公斤）
l 快速响应时间（＜2秒）
l 高重复性（±0.25%F.S)
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型号 |
M2030V/A |
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流量范围（N2) |
0.01~30 slpm |
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响应时间 |
＜2秒 |
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精确度 |
±1% |
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重复精度 |
±0.25% |
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输入输出信号 |
0-5Vdcc / 4~20mA |
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供电 |
+15Vdc or +24Vdc,350mA |
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***大工作压力 |
＜ 90 bar |
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***大工作温度 |
0~50℃ |
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漏率 |
1×10-9atm.cc/sec |
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控制范围 |
2~100% |
服务项目
