布鲁克斯/BROOKS气体质量流量控制器(SLA5861) - 仁荷泰可（北京）科技有限公司

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布鲁克斯/BROOKS气体质量流量控制器(SLA5861)

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产品参数

详细信息

SLA5861 /5860/ 5853/5850/ 5850流量计

数模橡胶密封;

流量范围:100-2500 slpm;

精度:±1.0% of rate(20%-100% FS);

±0.2% FS(<20% FS);,

±1.0%F.S.(>1100 slpm)

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