布鲁克斯/BROOKS气体质量流量控制器(SLA5863S) - 仁荷泰可（北京）科技有限公司

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布鲁克斯/BROOKS气体质量流量控制器(SLA5863S)

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详细信息

SLA5863_数模橡胶密封质量流量计(12L253L)

数模橡胶密封;

流量范围:100-2500 slpm;

精度:±1.0% of rate(20%-100% FS);

±0.2% FS(<20% FS);,

±1.0%F.S.(>1100 slpm)

单位：台
产地：美国
交货周期：6周
保期：一年

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