99.9%纯度深冷空分设备
空分设备就是以空气为原料，通过压缩循环深度冷冻的方法把空气变成液态，再经过精馏而从液态空气中逐步分离生产出氧气、氮气及氩气等惰性气体的设备。我国空分设备的生产规模已经从早期只能生产20m3/h（氧）的制氧机，发展到现在具有生产的特大型空分设备的能力。
V－101阀为手动蝶阀，鼓风机的排气量随季节而变化。为了保证供给吸附器的空气量，可以通过V－101来调节。调节V－101阀以稳定吸附器吸附压力，保证吸附器压力稳定在一个设定值。其开、关由PLC控制。真空泵处于停机状态时，KV－201开启，正常运行时，KV－201关闭。V－201为手动蝶阀，用于调节真空泵抽气量，V－201的调节以稳定吸附器的解吸压力力稳定。
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泵口压力由压力变送器测定并以电信号进入PLC，在工控机显示器上监视作压力为～﹣53KPa。当≤﹣60KPa时，由PLC联锁氧压机、真空泵、PLC停机。（2）泵轴承温度测定、联锁同鼓风机。（3）真空泵振动速度测定、联锁同鼓风机。
湿99.9%纯度深冷空分设备式罗茨真空泵运行中，应在泵口注入密封水，注入水量通过水表来控制，不同型号真空泵密封水水量是不同的。密封水水量过大，电机负荷增大。密封水水量过小，真空度低，泵排气温度升高。密封水水质一般要求软水，总硬度不超过20～30德国度。如果水质硬度大，长时间运行后会在叶轮上结垢，影响正常使用。吸附切换系统由若干台吸附器和切换阀、调节阀组成。
吸附器内装入吸附剂。吸附器上部装有压力温度测定，并通过PLC在工控机显示器显示。
所有切换阀均采用气动切换蝶阀。阀门的动作是由PLC控制，各阀门根据设定的控制程序进行动作。装置停机时，切换阀处于关闭状态。
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