仪器规格
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分辨率
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高真空模式 4.0nm (20kV), 低真空模式 5.0nm (20kV),
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放大倍率
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8到300,000倍 |
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加速电压
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0.5kV~20kV |
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样品台
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大型全对中样品台 (五轴手动X, Y, Z, R, T)
Ｘ：80mm, Ｙ：40mm, Ｚ：5mm～48mm
T：-10°～ + 90°, R：360° |
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***大样品尺寸
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直径150mm, 高度48mm |
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检测器
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二次电子检测器、背散射检测器、（成份像、形貌像、立体像）、EDS检测器(SDD) ＊JSM-6010LA有低真空二次电子检测器为选购 |
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画像显示
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标准图像、双实时图像、分立实时图像、画中画模式、数字放大、双放大倍数 |
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EDS元素分析
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定性分析、定量分析、彩色面分析、电子束追踪、检测元素范围：B~U |
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自动功能
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自动聚焦、自动衬度/亮度、自动消像散、自动灯丝饱和、自动对中、自动电子***偏压。 |
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真空排气装置
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涡轮分子泵（TMP）、机械泵（RP） |
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网络
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以太网、无线LAN（选配件） |
服务项目
