多晶硅尾气各主要成分的体积分数分别为，HCl 30%；H2 64.2%；SIHCl3 5.4%；其他0.2%。多晶硅尾气均为可回收的产品或可循环使用的原料。对尾气进行有效的治理，不仅可以提高原料的利用率，还可以降低三废的排放量。为了合理治理尾气，必须根据尾气的特性、成分、压力等，选择适当的工艺流程和技术条件。
系统特点
1. 取样系统为可插拔式探头，方便更换滤芯
2. 过滤器可过粉尘和硅粉，过滤精度为0.1μm
3. 大屏幕现场就地显示
4. 系统自动标定，无须人工校验；
5. 主机采用纯进口检测元件；
6.系统兼容性强大
7.手自动一体，故障自检；
技术参数
1) 型号：TR9700
2) 输出：4-20 mA、RS232或485
3) 响应时间：T90<15s
4) 工作温度：-20º~+60º
5) 电源：24 VDC
6) 防护等级：IP65
7) 系统部件：316L不锈钢
8) 防爆标准：符合EEx ia IIC T4
微水分析仪：
a. 测量范围：-100~+20º
b. 精度：+20~-60º 露点范围内为±1º
c. -60~-100º 露点范围内为±2º
d. 工作压力： 真空~40 MPa
e. 计量单位：PPmW,℃
f. 防爆标准：非现场显示型符合EEx ia IIC T4
g. 现场显示型符合EEXd IIB T4
技术详情请咨询！张斌 18789429993
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