工艺简述：
1、箱罐制作完成及IPA预清洗后， 安装于清洗系统中
2、按一定流量通入加热后超纯水进行箱罐溢流至颗粒度分析标准
3、排出超纯水后充装适量49%HF， 先静置浸泡， 再按一定转速和摆动频率等工艺参数进行清洗，
4、酸清洗完成， 排出后充装超纯水， 进行摇摆和转动清洗至分析达标。
工艺原理：
该清洗项目通过模仿罐箱盛装高纯电子化学品， 采用“路晃”方式达到内部盛装的高纯化学品对罐箱衬里板材内壁的冲击清洗， 以有效提高金属离子的析出速度， 并通过热超纯水的溢流， 有效清洁衬里板材表面的颗粒物。本清洗项目通过摇摆机设备， 实现罐箱的旋转和摆动运动，
同时带动罐内液体运动， 当液体运动频率达到自振频率时，液体会形成较大的浪涌并实现槽罐内腔360度无死角全覆 盖清洗， 从而达到清洗效果， 并提高清洗效率。
清洗结果：
罐箱经三次清洗 （8H/次） 后， HF检测数据如下：
1、金属离子： 单个金属离子析出低于10ppt；
2、颗粒物： 0.1 μm颗粒物≤200pcs/ml；
服务项目
