[新品] Pluto-30等离子清洗机(Pluto-30)
Pluto-30参数
尺寸
706W x 804D x 735H mm
腔体尺寸
300W x 280H x 366D mm
腔体
容量
30L
电极数量
2
电极间隙
48mm
电极
功率电极尺寸
226W x 210D mm
接地电极尺寸
260W x 210D mm
射频系统
射频功率和频率
300W/13.56MHz
气体控制
1个MFC控制器；可增至4个MFC控制器
真空泵系统
32m³/h 油泵
功率
220伏交流电，10安，50赫兹，单相，3线
工艺气体
0.25英寸. 气管快接.适用于 15-20psig;
特别装置
净化气
0.25英寸. 气管快接. 适用于10-100psig
需求
CDA
0.25英寸. 气管快接. 适用于60-90psig
排气接口
KF40
液体前驱体输送系统
500W/13.56MHz射频系统
可选项
37m³/h 干泵
排气洗涤器
油雾消除器
服务项目 服务项目
