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等离子清洗机GH-100D

昆山国华电子科技有限公司
联系人 张颖
地区 江苏省 昆山
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产品参数
详细信息

 等离子处理设备GH-100D 弹夹式

电源需求AC380V,50/60Hz,三相五线 4KW
场地需求设备占地960*1030,需要预留操作空间,建议2000*2000以上
压缩空气要求0.5~0.8MPa,干燥
真空泵排风≥1立方/分钟,中央尾气处理管道即可、直径50MM
系统环境温度要求≤30℃
工艺气体要求0.5~0.8MPa:CF4=99.999%;O2=99.99%;N2=99.99%;H2=99

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