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名称（Name）
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真空式等离子处理系统
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型号（Model）
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CRF-VPO-8L-S
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控制系统（Control system）
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PLC+触摸屏
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电源（Power supply）
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380V/AC,50/60Hz,3kw
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中频电源功率（MF Power）
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600W/13.56MHz
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容量（Volume）
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80L（Option）
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层数（Electrode of plies）
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8（Option）
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有效处理面积（Area）
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400（L）*300（W）（Option）
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气体通道（Gas）
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两路工作气体可选： Ar、N2、CF4、O2
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超大处理空间，提升处理产能，采用PLC+触摸屏控制系统，精确的控制设备运行。
可按照客户要求定制设备腔体容量和层数，满足客户的需求。
保养维修成本低，便于客户成本控制。
高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持。
主要适用于生物医疗行业，印制线路板行业，半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等。
服务项目
