产品说明:
(1)***大放大倍率15万倍(Magnification Max 150,000x)
(2)采用二次电子和背散射电子双重探测器(Signal Detection: SE Detector+BSE Detector)
(3)1KV~30KV加速电压选择,图像分辨率高(Accelerating Voltage:1kV to 30Kv,High image resolution)
(4)通过选配EDS可进行元素成份分析(EDS is optional, for component analysis)
(5)冷却台的安装可在无前处理情况下对水分取样分析(Installation a cooling Stage, Can measure aqueous samples without pretreatment)
(6)高/低真空配置缩短前处理过程(High&Low Vacuum System)
(7)CCD摄像头的安装可对载物台内部观察(The CCD camera is mounted to view the inside of the stage)
(8)Tilt(0~45)载物台配置(可选择)(Tilt Stage configuration( optional))
产品特性:
(1)台式扫描电镜,体型小巧,占用空间小;(2)强大的软件功能,单窗口操作界面让用户操作方便简单;(3)软件实现检测图形实时存储;(4)扫描电镜产品结构设计简洁,易于维护及保养;(5)自动平台采用中心定位模式,迅速定位待测样品;(6)高低压真空设计,可调式电压,为不同样品提供更合适的检测环境。
技术参数:
分辨率
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5nm (30kV, SE Image)
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放大倍率
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30x~150,000x
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加速电压
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1kV to 30kV (1kV/5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -6 step)
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图像检测
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二次电子图像-(SE)-Secondary Electron Image
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背散射电子图像(BSE)-Backscattered Electron Image
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* Multi Detector (SE+BSE)
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观察模式
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Standard Mode
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Charge-up reduction mode
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电子***系统
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灯丝类型
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预对中钨灯丝
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偏压系统
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自动偏压方式
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电子***校正
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手动方式
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透镜构成
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聚光镜
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2段式磁线圈透镜
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物镜
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1段式磁线圈透镜
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探测器类型
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SE Detector/ BSE Detector
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载物台系统
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自动或者手动
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载物台移动
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5轴手动或自动操控
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图像偏移
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Image shift X, Y Image Shift (±150um)
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样品***大尺寸
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高度35mm时***大直径80mm
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图像扫描
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快速扫描: 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)
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低速扫描 : 640x480 (Scan time: 3 sec.)
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图片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.)
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图片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.)
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图片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.)
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自动功能
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自动启动,自动聚焦,自动亮度对比度调节
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图像存储格式
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BMP, JPEG, PNG,TIFF
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数据显示
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放大倍率,探测器类型,电压,真空模式,Logo(Text),Date and time,Text marker,比例尺等
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真空系统
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全自动型/高真空模式+低真空模式
(旋转式机械泵)Rotary Pump/100Liters/min
(涡轮式分子泵)Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec
抽真空时间:2分钟以内
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操控系统
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鼠标和键盘
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PC:台式电脑(Desk Top)
OS : Microsoft Windows 7
CPU : Intel CoreTM i5 or High version
Memory / HDD : 4GB / 500GB or High version
USB 2.0
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软件
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图像文件打开,编辑,存储功能长度,面积,角度等测量功能,设置数初始化,图像拍摄模式转换,Archives, Setting(EDS)模式等
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体积
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设备主机-410(W)×660(D)×600(H)mm
控制主机:410(W)×290(D)×520(H)mm
外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm
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重量
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105kg
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设备环境
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温度:15℃~30℃
湿度:70% or less
电源:Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz
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