等离子区采用低温等离子体分解油雾、废气等污染介质时，等离子体中的高能离子起决定性的作用。流星雨状的高能离子与介质内分子（原理）发生非弹性碰撞，将能量转化成基态分子（原子）的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程使污染介质处于活化状态。污染介质在等离子体的作用下，产生活性自由基，活化后的污染物分子经过等离子体定向链化学反应后被脱除。当离子平均能量超过污染介质中化学键结合能时，分子链断裂，污染介质分解，并在等离子发生器吸附场的作用下被收集。在低温等离子体中，可能发生各类型的化学反应，这主要取决于等离子的平均能量、离子密度、气体温度、污染物介质内分子浓度及共存的介质成分。对气态有机污染物的降解机理。
有足够的能量来产生自由基，引发一系列复杂的物理、化学反应。由低 温 等 离子体引起的气体有机物化学反应是在气相中进行的电离、离解、激发、原子.分子间的相互结合及加成反应。这个能量足以使大多数气态有机物中的化学键发生断裂，从而使其降解。从净化空气效率考虑，我们选择了电晕电流较高化装置采用脉冲电晕放电低温等离子体与吸附技术相结合的原理对有害气体进行消除，其中低温等离子体主要用来去除硫化氢、氨、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、丙酮、尿烷、树脂、等气体及消毒灭菌，吸附材料主要用于去除二氧化碳以及臭氧等副产物。净化 装 置 由 初 滤单元、低温等离子体发生器及过滤单元、风机等设备和部件组成。初级电子在电场中获得加速，撞击空气中的氧分子。当能量超过氧分子的电离电位时氧分子迅速离子化。失去电子的氧分子变成正极性氧离子（O2+），而释放的电子又与另一中性氧分子结合变成负极性氧离子（O2－），结果是氧离子的两级分化并吸附中性氧分子形成O2+、O2－、O2等氧聚集的离子群，具有极强的氧化性，可在很短的时间内将污染空气中的有害成分氧化分解为无害的产物和水。
等离子光氧一体机的有点和适用范围
1、智能：能自动判断工作运行状态，并显示相应的工作指示灯。
2、高效：高效捕集不同粒径的有机粒子，净化效率高，从根本上解决了污染转移问题。
3、灵活：净化单元可以灵活组合，根据不同的净化处理量及净率要求，单元数量可作调整。
4、方便：净化单元采用分体抽屉式结构，易于安装、维护，清洗特别方便。
5、先进：电源控制系统可自动调节电场强度，使净化设备在长期运行后保持较高的净化率。
6、安全，安全系统设计周密，电源精心设计成环氧树脂严密封闭的单元格体，使用安全可靠；采用了大型机所运用自如的闪络跟踪 技术，可配备过程控制系统，大大提高运行的安全系数。
7、稳定：电源控制系统具有过流过压自动保护装置，保证设备稳定运行。
8、节能：使用寿命长，节能高效（比传统技术节能50%以上）占地面积小。
等离子光氧一体机的适用范围：
等离子光解一体机净化设备主要运用于油漆喷涂、造纸页、制药业、轮胎及橡胶生产厂、汽车生产、污水处理、污泥废气处理、垃圾处理废气、皮革业、印刷厂、香料生产业、饲料及饲养场、农药生产以及烟草业等等多个领域的有毒有害气体、异味和恶臭处理。
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