产品介绍
一、FS1015系列微机电气体质量流量传感器产品描述：
FS1015系列微机电气体质量流量传感器是专门为各类医学用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计。
二、FS1015系列微机电气体质量流量传感器产品特点：
三、FS1015系列微机电气体质量流量传感器机械图：
四、FS1015系列微机电气体质量流量传感器技术参数：
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产品
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FS1015CL
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单位
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流量范围
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0~100 / 0~150
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SLPM
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量程比
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100：1
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精度
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±(1.5+0.2FS)
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%
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重复性
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0.25
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%
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零点输出飘移
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±30
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mV
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输出飘移
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±0.12
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%/ ℃
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响应时间
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8
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ms
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工作电压
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5±1%
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Vdc
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输出方式
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线性，模拟电压0.5~4.5Vdc
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***大流量压损
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1300
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Pa
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***大工作压力
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0.2
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MPa
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工作温度
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-10~+55
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℃
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储存温度
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-20~+65
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℃
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工作湿度
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<95%RH(无结冰、无凝露)
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电气接口
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5针插座，AMP 103956-4
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机械接口
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ISO-15mm
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校准方式
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空气，20℃，101.325kPa
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重量
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21.5
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g
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服务项目
