光氧催化技术原理是依靠高强紫外线，其中154nm-185nm波长在系列光谱中使占比例高达14%，紫外线剂量大于65mw/cm2，光子能量大于1000kJ/mol，是当前工业UV/O3紫外灯中剂量和能量***大的紫外线，迅速氧化键能小于380kJ/mol的污染物，无极灯紫外线光解氧气产生臭氧，臭氧浓度15g-75g/h，臭氧能快速氧化金属性较强的污染物，臭氧量可根据污染物的浓度以及后续反应时间设定。
废气的光解催化氧化机理包括两个过程：一是在产生高能离子群体的过程中，一定数量的有害气体分子受高能作用，本身分解成单质或转化为无害物质。二是含有大量高能粒子和高活性的自由基的离子群体，与大分子气体（如苯、甲苯等）作用，打开了其分子内部的化学键，转化为无害的小分子物质。新生态的氧离子具有很强的氧化性，它能有效的氧化分解不受负离子作用控制的有机物。和废气反应后多余的氧离子（正），能与氧离子（负）很快结合成中性氧，因而不会更多地对设备及环境造成不利影响。
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