系列1100℃多温区大口径气氛管式炉-
专门设计用于1000℃以下多段大口径CVD工艺及玻璃封装工艺,采用高纯电阻丝,内嵌在轻质陶瓷纤维材料中,多温区控制,加热区长,温场均匀好,周边拓展系统齐全,适合高校、科研院所实验之使用。
技术参数
***高温度1100℃。
长方形炉体,带空气强冷,外形喷塑,精巧美观。
工作管径范围50mm—300mm。
高纯气炼石英管,炉塞或石英帽。
K分度热电偶,3-5温区控制。
轻质陶瓷纤维隔热材料,耐热冲击性好,蓄热低。
快速升温,升温速率可达10℃。
半导体继电器控制加热元器件,控温精确,寿1、 1100℃单温区管式炉
专门设计用于1100℃以下实验室烧结工艺,外形紧凑,重量轻,性价比高。采用电阻丝加热,加热元件内嵌在轻质陶瓷纤维材料中,温场均匀,精巧美观,周边拓展性好,适合高校、科研院所实验之使用。
技术参数
***高温度1100℃。
空气强冷,外形喷塑。
工作管径范围50mm—90mm。
高纯气炼石英管。
K分度热电偶,单温区控制。
轻质陶瓷纤维隔热材料,耐热冲击性好,蓄热低。
快速升温,升温速率可达10℃。
半导体继电器控制加热元器件,控温精确,寿命长,无噪音。
多段程序控温,PID调节可编制多种升降温程序。
超温保护功能,超温自动断电。
拓展选件:炉内测量系统(氧含量检测系统、温度检测系统);
真空系统(旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组);
气氛系统(浮子流量计、质量流量计);
记录系统(有纸记录、无纸记录);
注:选件需配置拓展平台;
设备型号 |
***高温度 |
使用温度 |
管径 |
加热区 |
温区数 |
控温精度 |
电压 |
功率 |
FWZ(D)-50\32\1 |
1100℃ |
0-1000℃ |
50mm |
320 mm |
1个 |
±1℃ |
220V |
2KW |
FWZ(D)-60\32\1 |
1100℃ |
0-1000℃ |
60mm |
320 mm |
1个 |
±1℃ |
220V |
2.5KW |
FWZ(D)-70\32\1 |
1100℃ |
0-1000℃ |
70mm |
320 mm |
1个 |
±1℃ |
220V |
3.0KW |
FWZ(D)-80\32\1 |
1100℃ |
0-1000℃ |
80mm |
320 mm |
1个 |
±1℃ |
380V |
3.5KW |
FWZ(D)-90\32\1 |
1100℃ |
0-1000℃ |
90mm |
320 mm |
1个 |
±1℃ |
380V |
4.0KW |
注:***高温度为管外测量,工作管内温度低约50℃。
非标管径、加热区长度可根据客户工艺要求定制。
2、FXA(D)命长,无噪音。
多段程序控温,PID调节,可编制多种升降温程序。
超温保护功能,超温自动断电。
拓展选件:炉内测量系统(氧含量检测系统、温度检测系统);
气氛系统(多路浮子流量计、质量流量计);
记录系统(有纸记录、无纸记录);
设备型号 |
***高温度 |
使用温度 |
管径 |
加热区 |
温区数 |
控温精度 |
电压 |
功率 |
FXA(D)-60\60\3 |
1100℃ |
0-1000℃ |
50mm |
600 mm |
3个 |
±1℃ |
220V |
4.8KW |
FXA(D))-90\80\3 |
1100℃ |
0-1000℃ |
90mm |
800 mm |
3个 |
±1℃ |
220V |
8 KW |
FXA(D)-120\80\4 |
1100℃ |
0-1000℃ |
120mm |
800 mm |
4个 |
±1℃ |
220V |
12 KW |
FXA(D)-150\80\4 |
1100℃ |
0-1000℃ |
150mm |
800 mm |
4个 |
±1℃ |
380V |
18 KW |
FXA(D)-180\100\5 |
1100℃ |
0-1000℃ |
180mm |
1000 mm |
5个 |
±1℃ |
380V |
20 KW |
注:***高温度为管外测量,工作管内温度低约50℃。
非标管径、加热区长度可根据客户工艺要求定制。
3、FWL(RTP)系列1100℃滑轨式一体化管式炉-
专门设计用于1100℃以下快速升温快速降温的CVD和RTP工艺,采用优质电阻丝,内嵌在轻质陶瓷纤维材料中,温场均匀,使用寿命长,升温快,周边拓展性好,外形规整,适合高校、科研院所实验之使用。
技术参数
***高温度1100℃。
长方形炉体,带空气强冷,外形喷塑,精巧美观。
工作管径范围50mm—90mm。
高纯气炼石英管,法兰密封。
K分度热电偶,单温区控制。
轻质陶瓷纤维隔热材料,耐热冲击性好,蓄热低。
快速升温,快速降温,1000℃≤15min。
半导体继电器控制加热元器件,控温精确,寿命长,无噪音。
多段程序控温,PID调节,可编制多种升降温程序。
超温保护功能,超温自动断电。
配有485转换接口。
拓展选件:炉内测量系统(氧含量检测系统、露点检测系统、温度检测系统);
真空系统(旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组);
气氛系统(多路浮子流量计、质量流量计);
记录系统(有纸记录、无纸记录);
设备型号 |
***高温度 |
使用温度 |
管径 |
加热区 |
温区数 |
控温精度 |
电压 |
功率 |
FWL(RTP)-50\32\1 |
1100℃ |
0-1000℃ |
50mm |
320 mm |
1个 |
±1℃ |
220V |
2KW |
FWL(RTP)-60\32\1 |
1100℃ |
0-1000℃ |
60mm |
320 mm |
1个 |
±1℃ |
220V |
2.5KW |
FWL(RTP)-70\32\1 |
1100℃ |
0-1000℃ |
70mm |
320 mm |
1个 |
±1℃ |
220V |
3.0KW |
FWL(RTP)-80\32\1 |
1100℃ |
0-1000℃ |
80mm |
320 mm |
1个 |
±1℃ |
380V |
3.5KW |
FWL(RTP)-90\32\1 |
1100℃ |
0-1000℃ |
90mm |
320 mm |
1个 |
±1℃ |
380V |
4.0KW |
注:***高温度为管外测量,工作管内温度低约50℃。
非标管径、加热区长度可根据客户工艺要求定制
4、FZT(D)系列1100℃开启式管式炉
专门设计用于1100℃以下CVD工艺采用高纯电阻丝,内嵌在轻质陶瓷纤维材料中,单温区控制,冷却快,操作方便,周边拓展系统齐全,适合高校、科研院所实验之使用。
技术参数
***高温度1100℃。
分体式设计,降温速率快。
工作管径范围50mm—90mm。
高纯气炼石英管,2个纤维炉塞。
K分度热电偶,单温区控制。
轻质陶瓷纤维隔热材料,耐热冲击性好,蓄热低。
快速升温,升温速率可达10℃。
半导体继电器控制加热元器件,控温精确,寿命长,无噪音。
多段程序控温,PID调节,可编制多种升降温程序。
超温保护功能,超温自动断电。
拓展选件:炉内测量系统(氧含量检测系统、温度检测系统);
真空系统(旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组);
气氛系统(多路浮子流量计、质量流量计);
记录系统(有纸记录、无纸记录);
设备型号 |
***高温度 |
使用温度 |
管径 |
加热区 |
温度数 |
控温精度 |
电压 |
功率 |
FZT(D)-50\32\1 |
1100℃ |
0-1000℃ |
50mm |
320 mm |
1个 |
±1℃ |
220V |
2.0KW |
FZT(D)-60\32\1 |
1100℃ |
0-1000℃ |
60mm |
320 mm |
1个 |
±1℃ |
220V |
2.5KW |
FZT(D)-70\32\1 |
1100℃ |
0-1000℃ |
70mm |
320 mm |
1个 |
±1℃ |
220V |
3.0KW |
FZT(D)-80\32\1 |
1100℃ |
0-1000℃ |
80mm |
320 mm |
1个 |
±1℃ |
380V |
3.5KW |
FZT(D)-90\32\1 |
1100℃ |
0-1000℃ |
90mm |
320 mm |
1个 |
±1℃ |
380V |
4.0KW |
注:***高温度为管外测量,工作管内温度低约50℃。
非标管径、加热区长度可根据客户工艺要求定制。
5、FWL(D)系列一体式管式炉-1100℃
专门设计用于1100℃以下CVD工艺采用优质电阻丝,内嵌在轻质陶瓷纤维材料中,温场均匀,使用寿命长,升温快,周边拓展性好,外形规整,适合高校、科研院所实验之使用。
技术参数
***高温度1100℃。
长方形炉体,带空气强冷,外形喷塑,精巧美观。
工作管径范围50mm—90mm。
高纯气炼石英管。
K分度热电偶,单温区控制。
轻质陶瓷纤维隔热材料,耐热冲击性好,蓄热低。
快速升温,升温速率可达10℃。
半导体继电器控制加热元器件,控温精确,寿命长,无噪音。
多段程序控温,PID调节,可编制多种升降温程序。
超温保护功能,超温自动断电。
配有485转换接口。
拓展选件:炉内测量系统(氧含量检测系统、露点检测系统、温度检测系统);
真空系统(旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组);
气氛系统(多路浮子流量计、质量流量计);
记录系统(有纸记录、无纸记录);
设备型号 |
***高温度 |
使用温度 |
管径 |
加热区 |
温区数 |
控温精度 |
电压 |
功率 |
FWL(D)-50\32\1 |
1100℃ |
0-1000℃ |
50mm |
320 mm |
1个 |
±1℃ |
220V |
2KW |
FWL(D)-60\32\1 |
1100℃ |
0-1000℃ |
60mm |
320 mm |
1个 |
±1℃ |
220V |
2.5KW |
FWL(D)-70\32\1 |
1100℃ |
0-1000℃ |
70mm |
320 mm |
1个 |
±1℃ |
220V |
3.0KW |
FWL(D)-80\32\1 |
1100℃ |
0-1000℃ |
80mm |
320 mm |
1个 |
±1℃ |
380V |
3.5KW |
FWL(D)-90\32\1 |
1100℃ |
0-1000℃ |
90mm |
320 mm |
1个 |
±1℃ |
380V |
4.0KW |
注:1、***高温度为管外测量,工作管内温度低约50℃。
2、非标管径、加热区长度可根据客户工艺要求定制。
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